측정 서비스

Gas 내 Impurity 측정

1. 적용분야

  • Semiconductor & HB-LED
  • Gases & Chemicals
  • Laboratory & Life Science
  • Energy
  • Continuous Emissions Monitoring
  • Atmospheric
  • Chlorine , High-Purity, Industrial, Medical, Natural, Refrigerant,
    Semicondutor Bulk Gases & Specialty Applications 등.

2. 측정방식

  • P2O5 방식 (Faradays Law of Electrolysis , 전기분해)
  • CRDS (Cavity Ring-Down Spectroscopy)로 Beer-Lamvert Law, Laser의 파장을 활용한 흡수 분광학 방식
  • Inert / 독성 Gas 내 H2O 측정
    1. Range : 0~2000 ppm
    2. 샘플가스 : N2, Ar, H2, Air, HCl, Cl2, HBr, He, O2, CO,CO2, SF6, CF4, NF3, C2F6, Kr, Ne, Xe.. 등
  • Gas 내 CO, CO2, CH4 등 측정
    1. Range : 샘플가스 별 상이
    2. 샘플가스 : Inert Gases and Hydrogen
  • Gas 내 Particle 측정
    1. Particle Size : 0.01 ~ 10.0 um
    2. 샘플가스 : Inert Gases

3. 장 점

  • 측정을 위한 넓은 Operating Pressure 범위 : 1mbar ~ 10 bar
  • Accurate, Linear, Repeatable&Fast Response time (NIST,NPL등 test 후 평가 경과)